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氮化硅膜加工方法,硅膜生產工藝,微晶硅膜制造方法

氮化硅膜、硅膜生產工藝與微晶硅膜的應用技術
1、硅烷組合物、硅膜的形成方法和太陽能電池的制造方法
2、多晶態硅膜的制造方法和制造裝置、以及半導體裝置及其制造方法
3、制造具有碳化硅膜的半導體器件的方法
4、氧化硅膜制作方法
5、提高硼硅玻璃膜及氮化硅膜之間粘合強度的方法
6、氮化硅膜、半導體裝置及其制造方法
7、高級硅烷組合物及使用該組合物的硅膜形成方法
8、氮化硅膜制作方法及氮化硅膜制作裝置
9、低介電氮化硅膜及其制造方法和半導體器件及其制造工藝
10、多晶硅膜的制造方法
11、生產具有含有有機著色劑的二氧化硅膜的積層材料的方法和由此生產的積層材料
12、一種硅膜壓阻壓力傳感器及其制造方法
13、一種硅膜電容壓力傳感器及其制造方法
14、一種集成硅膜熱流量傳感器及其制造方法
15、硅膜改性彈性玻璃毛細管柱的制備
16、結晶硅膜、半導體器件及其制造方法
17、從氧化硅膜選擇蝕刻氮化硅膜的方法
18、形成微晶硅膜的方法、光電元件及其制造方法
19、制備薄硅膜的方法
20、氧化硅膜的制造方法、半導體裝置的制造方法、半導體裝置、顯示裝置和紅外光照射裝置
21、玻璃的二氧化硅膜織構化
22、硅膜成形方法
23、硅膜的形成方法和噴墨用油墨組合物
24、高抗激光損傷閾值疏水增透二氧化硅膜的制備方法
25、多晶硅膜表面處理溶液和采用該溶液的多晶硅膜表面處理方法
26、由含表面活性劑的溶液制備的中孔二氧化硅膜及其制備方法
27、除去氮化硅膜的方法
28、氧化硅膜的制造方法、其控制程序、存儲介質和等離子體處理裝置
29、用于高性能CMOS應用的超薄Hf摻雜氮氧化硅膜及制造方法
30、使用透明基板制造多晶硅膜的方法和裝置
31、增加PECVD氮化硅膜層的壓縮應力的方法
32、采用磁控濺射在碳化硅反射鏡表面涂覆硅膜的方法
33、二氧化硅膜形態的控制
34、通過后PECVD沉積UV處理增加氮化硅膜的拉伸應力的方法
35、活塞環表面涂覆氮化硅膜層的方法
36、硅膜形成用組合物和硅膜的形成方法
37、氮化硅膜、半導體器件、顯示器件及制造氮化硅膜的方法
38、硅膜傳感器芯片的封裝
39、用化學蒸氣沉積技術沉積氮化硅膜和氧氮化硅膜的方法
40、非晶質硅膜的結晶方法
41、摻雜碳的二氧化硅膜的沉積方法與金屬內連線的制造方法
42、多晶硅膜的形成方法
43、多晶硅膜的形成方法
44、多晶硅薄膜晶體管的多晶硅膜的形成方法
45、生產結構體的方法和氧化硅膜用蝕刻劑
46、一種多孔氧化硅膜的制備方法
47、邊緣限定硅膜生長工藝的晶體生長設備與方法
48、納米硅膜生物傳感器
49、利用微晶硅膜作為浮置閘以促進快閃式存儲器性能的方法
50、單晶硅膜的制造方法
51、以連續式側向固化法形成多晶硅膜的方法及其光罩圖案
52、硅烷聚合物及硅膜的形成方法
53、借由控制膜層生成前驅物來控制所沉積氮化硅膜的性質及均一性的方法
54、氧化硅膜的成膜方法以及成膜裝置
55、形成高質量的低溫氮化硅膜的方法和設備
56、生產氫化碳氧化硅膜的方法
57、氮化硅膜的沉積制造方法及沉積系統
58、氮化硅膜的制造方法
59、使用原子層沉積法的氮化硅膜的形成方法
60、一種介孔二氧化硅膜的制備方法
61、一種氮化硅膜的生長方法
62、氮化硅膜形成方法及裝置
63、二氧化硅膜、該膜的形成材料和相關產品、及其制造方法
64、氮氧化硅膜的形成方法、形成裝置以及程序
65、薄膜晶體管的制造方法與修補多晶硅膜層之缺陷的方法
66、應力被調節的單層氮化硅膜及其沉積方法
67、硅膜形成裝置
68、用于制備受控應力的氮化硅膜的方法
69、具有控制應力的氮化硅膜
70、用于制造晶體管的低熱預算氮化硅膜及其制備方法
71、制備氮化硅膜的方法
72、氧化硅膜的形成方法、半導體裝置的制造方法及計算機存儲介質
73、多晶硅膜的制造方法以及薄膜晶體管的制造方法
74、一種介孔二氧化硅膜及一種抗生素制藥廢水凈化處理方法
75、以六氯乙硅烷進行的含硅膜的沉積
76、環狀硅氧烷化合物、含硅膜形成材料及其用途
77、用于產生結晶方向受控的多晶硅膜的系統和方法
78、去除硅片背面氮化硅膜的方法
79、改性多孔質二氧化硅膜的制造方法、由該制造方法得到的改性多孔質二氧化硅膜、及含有該改性多孔質二氧化硅膜的半導體裝置
80、含硅膜的等離子體增強周期化學氣相沉積
81、用來改變氧化硅和氮化硅膜的介電性能的有機硅烷化合物
82、用于對多晶硅膜進行拋光的化學機械拋光漿料組合物及其制備方法
83、氮化硅膜、半導體裝置及其制造方法
84、多晶硅膜阻值的測試方法
85、硅膜的干刻蝕方法
86、氮化硅膜的干刻蝕方法
87、氧化硅膜、其制備方法以及具有使用其的柵極絕緣膜的半導體器件
88、用流動梯度設計沉積均勻硅膜的方法和裝置
89、等離子增強循環沉積氮化金屬硅膜的方法
90、利用硅膜柱吸附RNA的RNA提取方法
91、用于濺鍍張力氮化硅膜的系統和方法
92、多晶硅膜的形成方法
93、微晶硅膜形成方法以及太陽電池
94、通過來自乙硅烷前體的遠程等離子體CVD的高質量氧化硅膜
95、在硅膜中心部位設置四端單元件的力敏器件
96、矩形雙島硅膜結構過壓保護型壓力傳感器
97、多晶硅膜微壓傳感器
98、中頻反應磁控濺射制備二氧化硅膜設備
99、浮法線錫槽內玻璃鍍硅膜的設備
100、用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量的載片

推廣期間全套專利技術光盤僅售200元


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